不同級別潔凈室、潔凈室與非潔凈區之間都要維持一定的壓差，以避免或減 少通過開口或縫隙造成的污染擴散。判定各相鄰房間是否滿足所需靜壓差的要求， 需要組潔凈室微壓差檢測。一般做潔凈室壓差檢測常用儀器介紹如下！ 
1.曲管壓差計 
       曲管壓差計是一種既簡單而壓差測值適應范圍又相對較寬的液體微壓計。它利用液體管的曲率變化替代斜管壓差計的傾角變化，以便于在較寬的范圍內測定微壓差，而構造較為簡單。當測定的微壓差較小時，恰處于曲管斜率較小的直管段。隨著被測壓差的增大，被測值顯示在曲率變化的曲管段。被測壓差更大時，被測值將顯示在斜率很大的直管段上。常將它掛在潔凈室墻上或空氣處理機組靠近空氣過濾器的外壁上，以監測潔凈室內外或空氣過濾器前后的靜壓差。

2. 彈性氣壓計（機械式壓差計） 
       彈性氣壓計是利用物體彈性制造的氣壓計。彈性氣壓計種類繁多，應用范圍非常廣泛。通過測定與齒輪或磁鏈相連的指針因隔膜位移而偏轉的距離，來測量兩個區域的空氣壓差。彈簧片或膜片壓力計屬于機械式壓差計。因存在壓差使彈簧管、彈簧片變形或膜片位移，根據其變形量、位移量與所測壓力差存在的函數關系為原理制成。通過杠桿機構，將變形量傳遞給指針，或通過磁性變化將膜片位移量傳遞給指針，以指示壓差量。彈性壓力表工作原理是通過表內的敏感元件的彈性形變作為測量的基礎，再由表內機芯的傳動機構將壓力形變傳導至指針， 引起指針轉動來顯示壓力。圖 2-38 給出了彈簧管、彈簧片壓力計工作原理圖和某種通過磁性傳遞隔膜變化來指示壓力的微壓計外形。

3.U 型氣壓計 
       U 型氣壓計由于形狀像英文大寫字母 U 字而得名。實際上 U 型氣壓計是兩個有刻度的連通的玻璃管。加入液體后，一頭與大氣連通，另一頭與被測的氣體連通。利用兩個玻璃管中的液面差測量氣壓差。結合已知的大氣壓數值，就可以得到被測的氣壓值。

4.斜管壓差計 
       斜管微壓計可以理解為 U 型壓力計的變形。一般情況，U 型壓力計的玻璃管垂直讀數，斜管微壓計的玻璃管傾斜讀數。玻璃管傾斜后，同樣的壓差在玻璃管中顯示的距離較大，讀數的精確度較高。所以與 U 型壓力計比較，斜管微壓計的讀數精確度要高一些。斜管壓力計的工作原理圖如圖 2-37 所示，斜管壓力計通常由一個可變化傾角且帶有刻度的玻璃細管和底部與其相通的容器構成。容器頂部中央和斜管的另一端分別設有接入口。斜管壓差計由于其斜管傾斜角度 a 的的可調性，它在 a 角較小時，微小壓差在斜管上就對應較長的 l 值。壓差的微小變化，都能從 l 值的變化靈敏的辨認，因此常用于測微壓差。

                                                     
5.電子微壓計 
       電子微壓計一般是通過壓力傳感器、電子線路和顯示器直接用數字顯示壓力的數值，如圖 2-39。以膜片位移所產生的靜電電容或電阻的變化，測定一個空間與其周圍環境間的壓差值，并顯示或輸出該值。常見的電子微壓計與上述膜片式壓力計相同之處在于，它同樣是依據膜片在兩側不同壓力作用下所形成的位移量來反映膜片兩側的壓力差；不同之處在于它不是依據機械方式，而是依靠測定膜片位移而產生的靜電電容或電阻的變化量來反映所測壓差的大小。

       壓差計與壓力計經常是可以通用的。有時測出壓力可以計算出壓差；有時又可以測出壓差計算出壓力。U 型壓力計就是一種典型的通過測壓差計算壓力的儀器，常用的氣壓計和壓差計有 U 型氣壓計、曲管壓力計、斜管壓力計、簧片或膜片壓力計、電子微壓計等。