空氣過濾器是最早為人類呼吸保護用具而被開發的，第一次世界大戰期間， 出現了以石棉纖維為濾料的防毒氣面具。后來美國成立了專門的過濾紙發開組， 開發出木纖維、石棉、描畫的混合纖維濾料。隨后以玻璃纖維為濾材的高效過濾器（High Efficiency particle air filter）在美國問世，用于房間的空氣凈化。
        70 年代，采用超細玻璃纖維過濾材料的高效過濾器（HEPA）對大于等于 0.3 μm 的威力過濾效率高達 99.9998%。隨著大規模集成電路的發展，日本又開發出針對0.1μm 的微粒的超高效過濾器，其過濾效率達到了99.9995%以上。美國IEST 把該過濾器命名為 ULPA。和 HEPA 相比，ULPA 過濾效率更高。ULPA 過濾紙的研制成功和開發利用，為集成電路、自動化儀表和航天航空等尖端技術的飛躍發展， 提供了對所需空氣進行高度凈化的工作環境。 
       高效過濾器種類繁多，各個國家、各個機構對高效過濾器的分類標準也不盡相同。常用的標準中過濾器效率的分類及相互的比較如圖  所示。 

                                                              各標準空氣過濾器效率規格比較 
       根據《GB/T 13554-2008 高效空氣過濾器》高效過濾器根據效率不同分為高效空氣過濾器、超高效空氣過濾器。鈉焰法檢測過濾效率在 99.9%~99.999%之間的空氣過濾器為高效過濾器，效率超過 99.999%的過濾器為超高效過濾器。大部分高效過濾器都是用在生物安全柜和潔凈室上，所以高效過濾器檢漏檢測是和有必要的！ 

       高效過濾器的結構不同，分為有隔板過濾器和無隔板過濾器。如圖 所示，濾芯按照所需深度將濾料往返折疊，在被折疊的濾料之間用波紋裝的分隔板支撐著，形成空氣通道的過濾器為有隔板過濾器。而過濾器按照所需深度往返折疊，被折疊的濾料之間用線裝粘結劑或者其他支撐物支撐著，形成空氣通道的過濾器為無隔板過濾器。

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